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熏碳爐概述

熏碳爐概述

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來源:
2018/05/28 10:50
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【摘要】:
熏碳爐設備有水平熏碳爐和垂直熏碳爐,又分別石英管整體熏碳和內管熏碳兩種,開發有可滿足超長、超大石英管和石英舟的表面熏碳和烘干用,也有滿足客戶的石英管內壁熏碳的要求。系統配備有抽真空、充氣、加熱和溫控系統,能對腔室內的溫度及真空度進行控制和監測,利用質量流量控制器控制氣體的流量。系統主要有機架、加熱爐、真空系統、充氣系統等幾大部分組成。

 

  熏碳爐設備有水平熏碳爐和垂直熏碳爐,又分別石英管整體熏碳和內管熏碳兩種,開發有可滿足超長、超大石英管和石英舟的表面熏碳和烘干用,也有滿足客戶的石英管內壁熏碳的要求。系統配備有抽真空、充氣、加熱和溫控系統,能對腔室內的溫度及真空度進行控制和監測,利用質量流量控制器控制氣體的流量。系統主要有機架、加熱爐、真空系統、充氣系統等幾大部分組成。

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