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退火爐概述

退火爐概述

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來源:
2018/05/28 10:47
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【摘要】:
退火爐設備用于改善單晶材料的品質,系統配備有抽真空、充氣、加熱和溫控系統,能對腔室內的溫度及真空度進行控制和監測,利用質量流量控制器控制氣體的流量。系統主要有機架、加熱爐、真空系統、充氣系統等幾大部分組成?! 〔牧咸峒冊O備概述  為晶體生長的前道工藝設備,為材料提純設備,確保材料最終的純度到達7N(99.99999%)標準,設備借鑒烏克蘭提純設備的原理,結合客戶的工藝研發的設備:分區熔爐和精餾爐,

 

  退火爐設備用于改善單晶材料的品質,系統配備有抽真空、充氣、加熱和溫控系統,能對腔室內的溫度及真空度進行控制和監測,利用質量流量控制器控制氣體的流量。系統主要有機架、加熱爐、真空系統、充氣系統等幾大部分組成。

  材料提純設備概述

  為晶體生長的前道工藝設備,為材料提純設備,確保材料最終的純度到達7N(99.99999%)標準,設備借鑒烏克蘭提純設備的原理,結合客戶的工藝研發的設備:分區熔爐和精餾爐,通過這2種工藝設備最終獲得半導體級的高純材料;

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